半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：
1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。
半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時的危險性分類：
1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃氣體：O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
氣體報警器在不同行業(yè)探測不同氣體
1、污水（泥）處理廠
污水處理廠、污泥處理廠通過安裝氣體檢測報警器檢測硫化氫(H2S)、氨氣(NH3)、氯i氣（CL2）、可燃氣體(CH4)的濃度
2，垃圾中轉(zhuǎn)站（場）
主要檢測臭味，氨氣，硫化氫，甲烷，氧氣等氣體
3、自來水廠
自來水廠需檢測氯i氣(CL2)、二氧化氯(CLO2)的氣體濃度。
4、噴漆房
油漆廠(車間、倉庫)檢測可燃氣體(苯、甲i苯、二甲i苯等)的氣體濃度。噴涂廠、烤漆房檢測可燃氣體(苯、甲i苯、二甲i苯等揮發(fā)氣體)，一般采用高溫型可燃氣體探測器。
5、化工企業(yè)
化工行業(yè)大量使用、存放各種化工原料，其包含多種有毒有害及可燃氣體。因此，化工行業(yè)各個生產(chǎn)環(huán)節(jié)都需要安裝可燃有毒氣體檢測報警器。
監(jiān)測站房內(nèi)應(yīng)配備標(biāo)準(zhǔn)氣體和工作氣源，且在有效期內(nèi)。標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)包含零氣和 NMHC-CEMS的量程標(biāo)氣。零氣可使用氮氣或潔凈空氣，其中碳氫化合物含量不超過0.3mg/m3。標(biāo)準(zhǔn)氣體不確定度不超過±2.0%，較低濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體可以使用高濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體采用等比例稀釋方法獲得，等比例稀釋裝置的精密度在1%以內(nèi)。工作氣源純度應(yīng)滿足分析儀器使用要求，氫氣純度至少達到99.99%。
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